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等离子体是通过将普通物质加热到高温而产生的,由离子,原子和带电粒子组成。 由于等离子体内有高能量,因此存在的原子和离子处于激发电子态。 当从激发态跃迁回基态时会发射光。 这些光的波长对于原子或离子是特异性的。发射光谱由非常窄的峰组成,因此需要高分辨率才能区分谱线。 光的强度与样品内物质的浓度相关。 在等离子工艺开始时产生的高温会产生连续辐射,从而掩盖了单个原子的谱线。 随着等离子体快速冷却,谱线变得可见。
显微光谱学是一种测量显微样品或感兴趣的显微区域的光谱的技术。 显微样品可以用紫外线,可见光或红外光照射以获得光谱。 微型光谱仪能够非破坏性地方式测量样品的吸光度,反射率,透射率,荧光和偏振。显微光谱学的一些常见用途是半导体集成电路的膜厚测量,染色的组织学样品的光谱,用于艺术分析的涂料/颜色的匹配以及用于法医学的匹配的材料。
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